Proceso básico de revestimento PVD JKL

(1) Tratamento pre-PVD, incluíndo limpeza de elementos e pretratamento.Os métodos de limpeza específicos inclúen a limpeza con deterxente, a limpeza con disolventes químicos, a limpeza por ultrasóns e a limpeza por bombardeo iónico.
(2) Poñelos no forno, incluíndo a limpeza da cámara de baleiro e os accesorios, e a instalación, posta en servizo e conexión de elementos e accesorios.
(3) Aspirar, xeralmente bombeando a 6,6 Pa ou máis, abra a parte frontal da bomba de difusión antes para manter a bomba de baleiro e quentar a bomba de difusión.Despois de que o prequecemento é suficiente, ábrese a válvula alta e bombea a un baleiro medio inferior de 6 x 10-3 Pa cunha bomba de difusión.
(4) Cocer, cocer os elementos á temperatura desexada.
(5) Bombardeo iónico, o baleiro é xeralmente de 10 Pa a 10-1 Pa, a tensión de bombardeo iónico é unha alta tensión negativa de 200 V a 1 KV e o tempo de ataque é de 15 min a 30 min.
(6) Prefusión, axustando a corrente para fundir previamente o material, axustar a corrente para fundir previamente o recubrimento e desgasificar durante 1 min ~ 2 min.Deposición por evaporación.A corrente de evaporación axústase segundo sexa necesario ata que remate o tempo de deposición desexado.Arrefriamento, os elementos son arrefriados a unha determinada temperatura na cámara de baleiro.
(7) Despois de sacar os elementos, a cámara de baleiro é pechada, o baleiro evacúase a l × l0-1Pa e a bomba de difusión arrefríase ata a temperatura permitida antes de que a bomba de mantemento e a auga de refrixeración se poidan apagar.
 


Hora de publicación: 07-09-2021